한국전기연구원 전력반도체연구센터에서 전력반도체 소자의 시작점인 탄화규소 소재의 결함을 조기에 분석하고 평가할 수 있는 기술을 개발했다. 검사 대상 및 평가 항목에 따라 2개의 다른 파장 빛을 선택해서 표면과 내부 결함을 검출하는 일본 제품과 달리, 연구원 개발 장비는 단 하나의 레이저 파장만으로도 SiC 소재의 파괴 없이 내부의 다양한 결함을 검사할 수 있다.
연구팀은 업체와의 기술이전 및 상용화 라인 구축을 통해 검사 장비 가격도 일본 제품(약 14억) 대비 절반 수준으로 공급할 수 있을 것으로 기대 중이다.
이승희 기자 aga4458@kea.kr
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